* 積み重ねられたウエハーは一枚ずつ取り出す
アンスタッカー

* 表面ダメージ層除去・テクスチャ形成(単結品)
エッチング装置

*拡散層形成
拡散炉

* 反射防止膜形成
プラズマCVD装置

* Alペースト、Agペーストで電極形成
高精度スクリーン印刷機乾燥装置

* Agペーストで電極形成
高精度スクリーン印刷機乾燥装置

* 焼成
成炉

* I-V測定
セルテスター

* 銅コネクタ(タブ)をはんだ付
はんだ付装置

*セルを配列し、電極をはんだ付してつなぐ
はんだ付装置

*保護ガラス・充壇材・裏面シートでセルを挟みラミネートする
ラミネーター

*電気特性を測定する、モジュールテスター
モジュールテスター

Framing machine
*アルミ材を取り付ける
枠取り付け装置

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