* 積み重ねられたウエハーは一枚ずつ取り出す
アンスタッカー
* 表面ダメージ層除去・テクスチャ形成(単結品)
エッチング装置
*拡散層形成
拡散炉
* 反射防止膜形成
プラズマCVD装置
* Alペースト、Agペーストで電極形成
高精度スクリーン印刷機乾燥装置
* Agペーストで電極形成
高精度スクリーン印刷機
乾燥装置
* 焼成
焼
成炉
* I-V測定
セルテスター
* 銅コネクタ(タブ)をはんだ付
はんだ付装置
*セルを配列し、電極をはんだ付してつなぐ
はんだ付装置
*保護ガラス・充壇材・裏面シートでセルを挟みラミネートする
ラミネーター
*電気特性を測定する、モジュールテスター
モジュールテスター
Framing machine
*アルミ材を取り付ける
枠取り付け装置
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